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提出一种硅基底微机械F－P腔结构，通过作为上反射镜的弹性膜的移动改变F－P腔的腔长，从而实现调谐的目的，利用有限元软件对其不同参数下的力学性能，电场耦合特进行了有限元的计算机模拟与分析，从分析结果可知，弹性膜在所要求的工作范围内有足够的强度受外加电压所产生的电场力的作用，而且弹性膜移动时仍然能够与下反射镜保持平行，从而保证了F－P腔的平行度，保证其作为滤波器或衰减器时的工作精度，为硅微机械F－P腔器的设计提供了有效参数依据。