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介绍了一种横向接触式体硅微机械继电器。这种继电器采用硅，玻璃键合及深刻蚀(DRIE)工艺加工，并利用多晶硅填槽形成隔离结构。继电器采用静电激励，横向驱动。分析了继电器静电激励的阈值电压，介绍了一种在有限元仿真工具ANSYS^TM下用降解模型(ROM)分析阈值电压的方法，并对仿真结果和实验结果进行了比较和讨论。