硅微机械F-P腔可变衰减器光学特性分析

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一种新型的硅微机械F-P腔可变衰减器,具有体积小、插入损耗低、调节精度高等优点,介绍了其基本结构、基本原理.分析了F-P腔两个反射镜的光学特性对F-P腔性能的影响,包括两反射镜反射率对插入损耗、最大衰减量、工作范围的影响,以及F-P腔腔长与衰减量之间的关系,分析了这种衰减器的带宽响应.衰减器体积只有200×200×300μm左右,插入损耗小于2dB,最大衰减量为44dB左右.
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