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本文提出一种新的光栅相位错动强度叠加光刻法。研制出了高质量的圆光栅，该方法同样适用于各种计量光栅的研制。
相位错动强度叠加光刻法
【摘 要】
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本文提出一种新的光栅相位错动强度叠加光刻法。研制出了高质量的圆光栅，该方法同样适用于各种计量光栅的研制。
【机 构】
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重庆大学光电精密机械研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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1997年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金,,863计划基金
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