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采用微波化学气相沉积工艺(MCVD),以掺二氧化硅的多孔氧化铝为基体,以甲烷为碳源,在甲烷浓度为0.25,基体温度分别为1 100~1150℃的工艺......
该文报道了用天线耦合水冷不锈钢型MPCVD装置成功制备出大功率(3KW-4KW)连续运行,成功制备出全透明金刚石薄膜,其最大面积可达φ76.5mm......
会议
本实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中......
采用微波CVD系统研究了Ar-CO_2-CH_4气氛中不同工艺条件对超纳米金刚石薄膜形貌的影响。结果表明:以Ar-CO_2-CH_4为反应气源,可制......