论文部分内容阅读
本实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温度约为900℃,处理时间为10～15min);以及在衬底上镀上复合过渡层的预处理方式能够抑制低温低气压条件下碳的石墨化趋向和提高膜、过渡层、衬底三者之间的结合力,进而可以有效地提高和改善金刚石膜的形核密度和质量。