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为了将电火花加工技术应用到微机械制造中，分析了微细电火花加工中的关键技术，开发了微细电火花加工机床．该机床由精密进给装置、主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工电源、花岗石工作台、伺服控制系统等构成．该机床具有三轴联动数控功能，各轴的进给分辨率均为0．1μm．主轴的回转跳动〈1μm，转速为1000-25000r／min，可以连续变速．该机床小到可以放在一张桌面上．在这台机床上进行了初步工艺实验，稳定地加工出了直径〈15μm的微细轴和25μm的微细孔，还加工出了微三维结构．