【摘 要】
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分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差，给出了修正系数及实验结果
The error caused by measuring the film thickness of domestic 6JA interference microscope
【机 构】
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天津大学物理系,首都师范大学,天津大学物理系
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分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差，给出了修正系数及实验结果
The error caused by measuring the film thickness of domestic 6JA interference microscope was analyzed. The correction coefficient and experimental result
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