【摘 要】
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【日本《原子能视野》1999年11月刊第57页报道】 日本原子能研究所与日新电机合作,开发出了作为太阳电池或大规模集成电路(LSI)的基片很有市场前景的厚0.5～10微米的硅片批量
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【日本《原子能视野》1999年11月刊第57页报道】 日本原子能研究所与日新电机合作,开发出了作为太阳电池或大规模集成电路(LSI)的基片很有市场前景的厚0.5～10微米的硅片批量生产技术。该技术是利用国际热核聚变实验堆(ITER)用的负离子束将单晶硅切成片,制造出薄膜。这与传统
Japan’s Atomic Energy Vision 1999 November Issue page 57 The Japan Atomic Energy Research Institute, in cooperation with Nisshin Electric, has developed a promising substrate for solar cells or large scale integrated circuits (LSIs) with a promising market of 0.5 ~ 10 micron wafer production technology. The technology is the use of ITER negative ion beam monocrystalline silicon cut into pieces, to create a thin film. This is traditional
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