论文部分内容阅读
Sonoscan是一家专注于声学显微镜领域的美国供应商,成立于1973年,目前已经开发出用于实验室的声学显微系统、晶圆声学显微自动检测系统和在线声学显微自动检测系统,主要应用于半导体封装器件的缺陷检测和诊断,以及晶圆级和印刷电路板的失效分析。在此基础上,高检测速度的扫描系统、VRMTM(虚拟再扫描模式)能使已经装配或被破坏的器件可进行声学扫描分析。