静态膨胀法校准系统概述

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引言 校准真空计的简单方法应是直接与标准比对。但公认能作为标准的绝对真空计,至今只有U型计和压缩计式真空计(麦氏计)。而U型计只是在乇级(上百帕)以上的压强容易得到较高的准确度,但向低压强扩展则要采用要求较高的测量方法,实际应用就有一定困难。压缩计虽然扩展了U型计低 Introduction A simple way to calibrate a vacuum gauge should be to align directly with the standard. However, it is accepted as a standard absolute vacuum gauge, so far only the U-meter and compression gauge vacuum gauge (McFarland dollars). The U-meter is only in the Torr level (over a hundred hectopascal) above the pressure easily get a higher accuracy, but to expand the low-pressure will have to use the higher requirements of the measurement method, the practical application there are some difficulties. Although the expansion of the expansion of the U-meter low
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