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本装置检定范围(10-3～105)Pa,最佳校准能力0.012%～2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计.该装置的建立不仅满足了从大气到10-3Pa高真空计量的需求,而且还可以用来校准标准漏孔,拓宽了检测领域.
标准静态膨胀法真空装置研制
【摘 要】
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本装置检定范围(10-3～105)Pa,最佳校准能力0.012%～2.2%,可以检定薄膜真空计,热传导真空计以及电离真空计.该装置的建立不仅满足了从大气到10-3Pa高真空计量的需求,而且还可以用
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2003年4期
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