基于DSP新型图形发生器模数转换器的设计

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：iloveyouggyy

【摘要】

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介绍了一种电子束曝光机图形发生器模数转换器的设计方案,该设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心,根据电子束曝光机背散射信号的特点,设计了合理的前端放大器和驱动

【作者】

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袁修鹏薛虹方光荣

【机构】

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中国科学院电工研究所

【出处】

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微细加工技术

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

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模数转换器图形发生器仪表放大器 A/D converter pattern generator instrument amplifier

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介绍了一种电子束曝光机图形发生器模数转换器的设计方案,该设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心,根据电子束曝光机背散射信号的特点,设计了合理的前端放大器和驱动电路及基准源.这样,提供了与DSP的无缝接口并提高了转换速度.该模数转换器可用于电子束和离子束曝光机中的图形发生器采集标记数据和图像数据信息,同时也可用于原子力显微镜采集图像数据信息.

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