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对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.
有机半导体薄膜层的图形化方法
【摘 要】
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对有机半导体层的图形化方法进行了详细介绍.对比分析了非传统有机半导体薄层的图形化方法和与传统光刻技术类似的有机层图形化方法,指出了各种方法的适用范围及其优缺点.
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划资助项目(2006CB806204),国家自然科学基金资助项目(60676001,60676008)
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