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期刊论文
基于旋涂的纳米压印技术研究
基于旋涂的纳米压印技术研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zbbankcomm
【摘 要】
:
尝试使用一种新的工艺--旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷.得出在精确控制实验
【作 者】
:
顾盼
刘景全
孙洪文
陈迪
【机 构】
:
薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
纳米压印
微复制
旋涂技术
PDMS印章
anoimprint lithography
micro-replication
spin-coating
PD
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尝试使用一种新的工艺--旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷.得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋涂方法得到高品质微纳米级图案的结论.
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