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设计了一种低相位噪声毫米波平面振荡器电路,采用在振荡器谐振端嵌入缺陷接地结构(DGS)方法来改善振荡器的相位噪声;同时在振荡器混合集成中采用了芯片倒扣技术减小寄生效应。分析并比较了嵌入和未嵌入DGS结构两种振荡器电路的性能。测试结果表明,嵌入DGS结构的振荡器相位噪声比未嵌入的降低了5 dB~7 dB。