硫对注入YSZ单晶的金属铂在退火过程中结晶的影响

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用卢瑟福背散射-沟道技术(RBS-C)和X射线衍射技术(XRD)研究了Pt和S注入YSZ(Y2O3稳定的ZrO2)后产生的损伤和退火过程中损伤的恢复及注入Pt的晶化。RBS-C分析表明YSZ在室温下注入存在较强自退火效应;XRD分析结果示出硫对铂的晶化产生很大影响。
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