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日经BP社2006年6月29日报道日本京都大学利用MEMS技术，开发成功了一种可使用直径1．2m的小型加速器进行X线放射的元件。先使加速后的电子通过基于MEMS的多层铝薄膜，然后使此时释放出来的光子产生共振，产生高能量后作为X线辐射出来。这种X线属于波长较长的“软X线”，可用于X线曝光设备等领域。