【摘 要】
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利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置在单晶硅基底上制备了类金刚石涂层,采用原子力显微镜和纳米压痕仪测定了其表面形貌及硬度,在DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪上考察了涂层
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所,兰州大学
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利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置在单晶硅基底上制备了类金刚石涂层,采用原子力显微镜和纳米压痕仪测定了其表面形貌及硬度,在DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪上考察了涂层在不同载荷及湿度下同GCr15钢对摩时的摩擦性能.结果表明,在不同环境湿度条件下DLC涂层的摩擦性能明显不同,这主要归因于转移膜形成机理的不同;在3 N载荷下,DLC涂层同GCr15钢对摩时的摩擦系数相对较小,且较为稳定;当环境湿度增大至100%时,摩擦系数显著增大,并发生类似于含氢类金刚石涂层的灾难性磨损.
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