【摘 要】
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2000年中芯国际落户上海浦东，中国的集成电路制造业拉开了新的篇章。而今，晶圆面积也由200mm扩大到了300mm，器件尺寸由最初的0．35微米以上到了现如今的65纳米，中国的半导体制造业
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2000年中芯国际落户上海浦东，中国的集成电路制造业拉开了新的篇章。而今，晶圆面积也由200mm扩大到了300mm，器件尺寸由最初的0．35微米以上到了现如今的65纳米，中国的半导体制造业正慢慢进入成熟阶段。随着新结构，新材料的引入，晶圆清洗也出现了一些新的技术，如：超声波清洗技术，激光震动清洗技术、低温气雾清洗技术、超临界清洗技术等等．
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