AMAT与诺发3维封装用Cu-TSV上的开发竞争激化

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【摘要】

：

美国应用材料(Applied Materials,AMAT)与美国诺发系统(Novellus Systems)在3维封装用TSV(硅贯通过孔)技术上的开发竞争日益激烈。AMAT在 Applied Materials (AMAT) and Nov

【作者】

：

章从福

【出处】

：

半导体信息

【发表日期】

：

2010年03期

【关键词】

：

应用材料过孔绝缘膜 AMAT Cu-TSV 电镀工通孔联手开发子层机械研磨

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美国应用材料(Applied Materials,AMAT)与美国诺发系统(Novellus Systems)在3维封装用TSV(硅贯通过孔)技术上的开发竞争日益激烈。AMAT在 Applied Materials (AMAT) and Novellus Systems (USA) have become increasingly competitive in the development of TSV technology for 3-D packaging. AMAT is there

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