【摘 要】
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为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差，研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型，在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线，从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位，解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数，将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪，经过振动抑制算法的处理，振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制，波面峰谷值由0.11
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院
【基金项目】
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江苏省自然科学基金（BK20200458）； 国家自然科学基金（62005122）；
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为抑制Φ600 mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差，研究了波长调谐振动抑制算法。该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型，在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线，从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位，解算出真实相位。引入评价参数误差抑制系数，将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪，经过振动抑制算法的处理，振动引起的二倍频“纹波”误差得到较好的抑制，波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ（λ为波长），均方根值由0.0164λ降到0.0135λ，结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性。
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