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相移器对光学测量具有非常重要的意义。本文采用一般的压电陶瓷柱和自行设计制作的40～300V直流可调电源制作了经济型相移器，并由计算机通过D/A转换板输出电压进行控制，做到了压电陶瓷非线性补偿和CCD采集图像的一体控制。经过标定，在压电陶瓷达到稳定时，其微位移量可达几个纳米，重复性很好。
一种D／A板输出控制的相移器设计
【摘 要】
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相移器对光学测量具有非常重要的意义。本文采用一般的压电陶瓷柱和自行设计制作的40～300V直流可调电源制作了经济型相移器，并由计算机通过D/A转换板输出电压进行控制，做到了压
【机 构】
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山东建筑工程学院机电工程系,山东大学
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2001年2期
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