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使用金属蒸汽真空弧离子源的金属离子注入
使用金属蒸汽真空弧离子源的金属离子注入
来源 :北京师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hengkuan
【摘 要】
:
用金属蒸汽真空弧离子(MEVVA)源注入金属离子,能以较低的离子能量而获得较厚的注层.掺杂浓度高,容易诱生金属间化物沉淀,是一种有工业应用价值的强流离子源.讨论了注入原子的
【作 者】
:
姬成周
张通和
【机 构】
:
北京师范大学低能核物理研究所,北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
:
北京师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1991年2期
【关键词】
:
MEVVA
离子注入
金属改性
离子源
beam heating
concentration profile
precipitate
intermetal
【基金项目】
:
“八六三”高科技研究资助项目
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用金属蒸汽真空弧离子(MEVVA)源注入金属离子,能以较低的离子能量而获得较厚的注层.掺杂浓度高,容易诱生金属间化物沉淀,是一种有工业应用价值的强流离子源.讨论了注入原子的状态和分布特征,说明了 MEVVA 源可能的使用前景.
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