某些光亮酸性镀铜添加剂的作用机理

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本工作研究光亮酸性镀铜常用的添加剂——2-四氢噻唑硫酮(H1)、苯基聚二硫丙烷磺酸钠(S1)和Cl-离子在铜电极上的电化学行为,以及它们对镀液的整平能力和镀层的显微结构与内应力的影响。根据实验结果讨论上述添加剂的作用机理。H1的扩散控制吸附及其对铜电沉积的阻化作用,S1和Cl-离子的吸附及其与铜离子的络合,可能导致产生细晶粒和内应力小的致密镀层。
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