【摘 要】
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用断面透射电镜技术,直接观察了实际欧姆接触工艺中AuGe/GaAs和AuGeNi/GaAs的横断面组织,并用选区电子衍射方法测定其反应产物。
The cross-sectional structure of AuGe /
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,
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用断面透射电镜技术,直接观察了实际欧姆接触工艺中AuGe/GaAs和AuGeNi/GaAs的横断面组织,并用选区电子衍射方法测定其反应产物。
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