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利用ＷＦＺ－Ｄ４型紫外／可见分光光度计测量了超薄Ａｌ膜可见光吸收率与膜厚变化的关系。结果表明，在薄膜生长的不同厚度阶段具有不同的吸收特性，吸收率对在明显的尺寸效应，随着薄膜厚度减小，吸收率具有极大值，与直流电导率实验结果对比分析，结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因。
超薄Al膜可见光吸收率的尺寸效应
【摘 要】
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利用ＷＦＺ－Ｄ４型紫外／可见分光光度计测量了超薄Ａｌ膜可见光吸收率与膜厚变化的关系。结果表明，在薄膜生长的不同厚度阶段具有不同的吸收特性，吸收率对在明显的尺寸效应，随着薄膜厚度减小，吸收
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1998年9期
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