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提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想，实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟．利用受控源的反馈作用实现耦合，所建立的等效电路可用于模拟静电驱动下悬臂梁的转移特性、瞬态响应与固有频率．与Saber模拟的数据进行对比，证实了该方法的有效性．
基于力学描述的MEMS悬臂梁系统级动态模拟方法
【摘 要】
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提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想，实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟．利用受控源的反馈作用实现耦合，所建立的等效电路可用于模拟静电驱动下
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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