微机械电子系统相关论文
无线通信技术，特别是第三代通信系统和蓝牙技术的迅速发展，主流的通信频段日益拥挤，工作在射频波段的通信器件，尤其是滤波器件越来越受......
针对分布式无线甲烷传感器需功耗低、微型化、响应时间短、可靠性高、安全性好的要求,介绍了基于微机械电子系统技术和纳米材料的......
微机械电子系统(MEMS)是当今技术领域的热点之一，目前已广泛应用于军事民工等众多领域。MEMS构件在工作中经常承受往复载荷的作用，这......
对无线多传感器网络中红外热释电传感器模块进行微小型化设计，一方面利用实际的工艺进行整个传感器的电路板设计，另一方面提出利用微......
微机械电子系统(MEMS)与光纤传感技术的结合给声传感器的设计和研制带来了全新的发展方向——MEMS光纤声传感器。与传统传声器相比......
对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟．以设计的一种微机械陀螺为模型，对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计......
主要研究静电激励／电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题，推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型，分析谐振梁的同频干扰问题，建立其等效电......
采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能。分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定......
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大......
提出了一种新型的基于体硅工艺的双轴加速度传感器,量程为±50gn,采用全对称结构,其电容检测部分采用变面积、差分电容式的梳......
静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度，介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理，建立了其动力学模型。根据检测电......
文中着重阐述了基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）技术制造的薄膜体声波谐振器／滤波器，简述了它的结构及原理，分析......
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器，仔细分析新结构的几个主要振动模态，优化结构参数，证实这种硅基谐振式微加速度传感......
本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理。根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系，确定了基于锁相技术驱动的系统分......
到内太阳系执行各种空间探索研究任务离不开高性能的高温传感器与电子元器件；此外，宇航发动机环境也急需耐高温的燃烧／发射控制传感器......
介绍了超固体润滑的概念,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论,分析了超固体润......
介绍用于胃肠道药物定点释放的微型药丸的研制工作,该微型药丸以压力气体致动式工作原理为物理模型,由体外定点控制实现药物定点释......
圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路......
通过对感性可调MEMS电容性膜开关等效电路模型的电磁特性分析，建立了开关的“关”态谐振频率选择模型和“开”态阻抗匹配模型．从微波......
首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时......
为了提高MEMS电场传感器敏感芯片封装的环境适应性,该文提出一种新型的电极型MEMS电场传感器封装结构。区别于将传感器敏感芯片及......
以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体......
介绍了微机电(MEMS)惯性测量元件(IMU)的基本情况,总结了误差主要来源,根据公开文献介绍的性能测试参数,建立了动态误差模型,并与G......
研究微结构与微机械电子系统(MEMS)的动力学特性测量与试验方法,对于优化MEMS的结构设计以及提高其可靠性与稳定性具有重要的意义......
介绍了微机械电子系统（MEMS）质量流量计的构造、工作原理、技术特性，探讨了MEMS质量流量计的校准、对前直管段的要求、可靠性和温度性......
为了克服传统电化学电极反应液需要量较大、预处理繁琐和耗时的不足,本研究通过腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散和溅射等工艺在75 mm......
提出一种基于昆虫风速接受器的微谐振式仿生传感器，用以测量低速气体流动．由于设计的复杂性，使用有限元模拟对其进行评估．基于有限元模......
为了提高灵敏度和消除交叉轴串扰，提出了一种包括有效的微型杠杆结构的谐振式差分微加速度传感器，分析了该结构差分检测和消除交叉轴......
主要研究了静电激励／电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题，分析了几种干扰源，建立了同频干扰的电路等效模型，提出一种基于双......
为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度,提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理,推导该结构的理论模型,得到这种微杆杠......
振动轮式MEMS陀螺是硅微陀螺中最具发展前景的类型之一.本文应用欧拉动力学理论,列写了振动轮式MEMS陀螺的运动方程,在一定的假设......
介绍了微机械电子系统的概念，分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果，根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同，总结出了微......
提出了一种末段修正火箭弹的脉冲修正方案，建立了相应的弹道模型；对单个脉冲发动机的修正能力及修正时机进行了仿真研究；提出了末段多......
采用微电子技术和微机械加工技术 ,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模......
根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算......
无源电感作为射频集成电路一种关键的无源器件,主要用来实现电路调谐、阻抗匹配以及滤波等功能。采用微加工工艺技术,对传统的无源......
虽然管道式消化道电子内窥镜在消化道疾病的检查中发挥了巨大的作用,但在小肠的检查过程中却体现出了它的局限性,现有的管道式电子......
目的：大肠杆菌是严重危害健康的食源性肠道致病菌之一，实现对大肠杆菌的快速检测，是预防与控制食源性疾病的关键环节之一。PCR（聚合酶......
求解过渡领域的流动问题，是稀薄气体动力学的核心内容。在过渡区众多的数值求解方法中，Monte Carlo直接模拟(DSMC)是数值求解稀薄气......
MEMS高g值加速度传感器是MEMS技术应用于引信侵彻过程惯性测试与控制的关键之一。本课题的主要任务是研制基于武器弹药系统高过载......
为了开展基于压电陶瓷机理、设计性能更高、体积更小的高频窄带滤波器的研究, 以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组......
