MEMS设计相关论文
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示，它在MEMS设计参数与器件运行之间建立了直接联系。虚拟运行的基础是器件动态模型。通常的......
针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题 ,提出了基于部件库的MEMS设计方法 ;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的ME......
提出基于受力分析与能量原理建立等效集总力学描述的思想，实现对机电耦合MEMS悬臂梁动态行为的系统级模拟．利用受控源的反馈作用实现......
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEM......
设计了一种热致驱动MEMS可变电容器，其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成；上极板由四个对称结构的热驱动器驱动......
针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题，提出了基于部件库的MEMS设计方法；介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设......
MEMS(微机电系统)技术是新兴的高新技术,有极强的应用渗透力,已在智能电子、汽车、工业、航空航天等领域广泛应用,并成为战略性新......
文中设计并分析了一个MEMS热驱动可变电容，它的下极板固定于衬底，上极板通过热致动器驱动。热致动器由冷臂和热臂组成，一端通过锚点固......
MEMS设计是微机电教学中的重要内容，本文根据MEMS设计课程的特点，针对教学中突出对学生“工程应用和创新能力”的培养要求，结合多年实......
