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等离子体基高温离子注入研究进展
等离子体基高温离子注入研究进展
来源 :金属热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZZZZZ12345678
【摘 要】
:
综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化.
【作 者】
:
孙跃
陈继新
夏立芳
刘鑫贵
徐淑艳
【机 构】
:
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
金属热处理学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
等离子体基离子注入
升温
扩散
组织和性能
plasmabased ion implantation (PBII)elevated temperaturedif
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综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化.并对今后的发展趋势作了预测.
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