等离子体基离子注入相关论文
本文旨在以高功率调制脉冲磁控溅射（Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering, MPPMS）、等离子体基离子注入（Plasma-Based Ion I......
利用待离子体基离子注入，采用磁控测射沉积Ｔｉ与等离子体源离子注入Ｎ交替进行的方法，在ＧＣｒ１５轴承钢表面形成多周期（Ｎ，Ｔｉ）离子注入混合层。通过ＸＰＳ分析研......
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该文用自行开发的磁增强活性反应离子镀(ME-ARE)系统,在基体射频偏压和脉冲直流偏压两种条件下,在单晶硅基体上成功地合成了高纯度......
该文系统地研究了铝合金等离子体基离子注入(PBⅡ)氮层的组织结构和摩擦学特性,同时还对等离子体基离子注入氮层在扩散退火后的组......
该文就W6Mo5Cr4V2(M2)高速钢升温等离子体基氮离子注入工艺对表面相关性能的改善进行了研究.结果表明,改性后M2,高速钢的表面硬度......
该文系统研究并比较了Ti6Al4V合金等离子体基离子注入(PBII)氮、光洁度入氮再注入氮再辉光放电沉积碳及注入碳再辉光放电沉积碳层......
该文利用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术在铝合金注氮的基础上进行了7种模式的复合离子注入:(1)注钛;(2)注氮、钛;(3)注钛+注氮、钛......
该文针对等离子体基离子注入(PBⅡ)过程,建立了模型,模拟了鞘层扩展的动力学行为以及注入元素在改性层中的分布;通过单因素试验,研......
该文采用等离子体基离子注入的方法成功地在TiNi合金表面沉积了类金刚石(DLC)涂层.通过原子力显微镜观察、Raman光谱分析、X射线光......
为了实现不锈钢表面的固体润滑,提高不锈钢表面的耐磨性,该文采用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术,在不锈钢基体上制备了注N层/TiN/......
本文针对等离子体基离子注入(Plasma Based Ion Implantation-PBII)过程，建立了鞘层扩展的等离子体粒子模型，模拟了在脉冲偏压作用下......
通过等离子体基离子注入(PBII)表面改性的方法,采用不同的负脉冲偏压对Ti6Al4V合金进行氮/氟离子注入,并研究了改性层的结构、硬度......
建立了等离子体基离子注入过程中试样温度预测的理论模型 ,应用这个模型进行了一系列数学模拟 .以纯铝为例测定了在不同的注入条件......
用电子束蒸发纯硼,在硅片上沉积不同厚度的硼膜,然后用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术在硼膜上注入氮以形成氮化硼(BN).用XPS分析膜......
用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AIN/TiN改性层的结构.结果表明,N和Ti能注入铝合......
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜,通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征,TiNx/......
采用金属等离子体基离子注入的方法，在 Ａｇ基体上注入了 Ａｌ．用 Ｘ射线光电子能谱仪（ＸＰＳ）对注入层的 Ａｌ浓度一深度分布和化学态进行了分析．用ｘ射线衍射......
采用等离子体基离子注氧技术(O2-PBⅡ)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为......
用X射线光电子能谱(XPS)研究了工艺参数(注入电压或能量、注入时间或剂量、磁控靶溅射电流)对铝合金LY12(即2024)等离子体基离子注......
用X射线光电子能谱(XPS)和小掠射角X射线衍射(GAXRD)研究了铝合金LY12等离子体基离子注入N+原位注入C形成AlN/DLC(类金刚石碳膜)改......
研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量......
用XPS和GXRD研究了铝合金等离子体基离子注氮后再注入氮钛最后复合注入氮和钛改性层的成分深度分布及相结合，用XTEM观察了改性层截......
采用等离子体基离子注入技术在30CrMnSi钢上制备了TiNx/DLC多层膜，通过X射线光电子谱和激光喇曼光谱测试分析了膜的结构特征，TiNx/DL......
利用流体动力学模型,研究了围绕菱形靶的等离子体鞘层扩展.通过改变靶的形状,考察了不同角度外角对鞘层的时空演化及等离子体参量......
通过改变碳和氮的注入顺序和注入剂量条件,研究了GCr15钢表面硬度和摩擦磨损性能的变化规律,讨论了等离子体基碳氮离子注入对GCr15......
对铝合金LY12进行等离子体基氮离子注入后再进行原位碳注入,从而在铝合金表面形成氮化铝(AlN)/类金刚石碳膜(DLC)改性层.考察了改......
在LY12铝合金氮等离子体基离子注入的基础上,制备了3种含不同中间层的碳改性层,用X射线光电子能谱仪分析了改性层的成分分布,考察......
综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用,注入层成分、组织结构、力......
钽氮化物和钽碳化物电影用磁控管氮和碳跟随的钽劈啪作响被制作基于血浆的离子培植(N-PBII 和 C-PBII ) 。这些电影的阶段进化和形......
为了研究靶形状对等离子体基离子注入均匀性的影响,应用Auger电子能谱(AES)剖面分析,测量并计算了正方形靶表面排布的Ti试样经氮等......
用X射线光电子能谱（XPS）和小掠射角X射线衍射（GAXRD）研究了铝合金LY12等离子基离子注入形成A1N/TiN改性层的成分分布及相结构，在此基础......
采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方......
用X射线光电子能谱和小掠射角X射线衍射研究了铝合金LY12等离子体基离子注入形成的AlN/TiN改性层的结构。结果表明，N和Ti能注入铝合......
利用原子力显微镜和掠入射X射线散射技术研究了6061Al合金等离子体离子注氮表面的粗糙度和标度行为.研究结果指出,注氮初期,表面粗......
第14届等离子体基离子注入和沉积国际会议将于2017年10月17~20日在上海召开。会议由国际等离子体注入和沉积委员会（PBII＆D Internati......
简要总结了哈工大近 10年来在材料的等离子体基离子注入表面改性方面的工作 ,包括铝合金、钛合金、轴承钢的等离子体基离子注入 ,......
等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术，它克服了传统离子注入视线加工的缺陷，可处理复杂形状工件，并可批量生产，生产效率高，设......
注氧隔离法（SIMOX）和体硅智能剥离法（Smart-cut）是目前制备绝缘体上的硅（SOI）材料的最重要的两种方法。而离子注入是其中最主要工艺过程......
双极板是质子交换膜燃料电池的核心部件之一。本论文研究了采用对水和空气稳定的离子液体中对不锈钢进行电沉积铌,等离子体基离子......
本文采用等离子体基离子注入技术对Ti6Al4V合金进行表面改性处理。系统的研究了注入电压,注入气体对改性层成分及摩擦磨损性能的影......
本文采用等离子体基离子注入的方法,通过改变B、C、N三种元素的注入工艺参数在GCr15轴承钢基体上制备了表面改性层,以提高材料表面......
本文采用等离子体基离子注入的方法,通过改变C、N、Ta三种元素的注入剂量和注入顺序在GCr15轴承钢基体上制备了表面改性层,以提高......
近年来随着塑料制品的日益增多,市场对塑料模具的需求也越来越大。铝合金模具由于具有易成型、导热性好等优点因此引起人们的普遍......
