【摘 要】
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我们用离子束沉积枝术,制造出了奇异性能的类金刚石碳膜(DLC膜)。初步测试了它的部份机械特性、光学特性、电气特性,化学特性。并且,通过扫描电子显微镜、二次离子质谱、X射
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所
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我们用离子束沉积枝术,制造出了奇异性能的类金刚石碳膜(DLC膜)。初步测试了它的部份机械特性、光学特性、电气特性,化学特性。并且,通过扫描电子显微镜、二次离子质谱、X射线光电子谱、透射电镜、电子衍射等手段,初步确定出DLC膜属于多晶碳膜,不少微区出现金刚石晶粒。
We use ion beam deposition technique, to create a unique performance of diamond-like carbon film (DLC film). Preliminary tests of some of its mechanical properties, optical properties, electrical properties, chemical properties. Moreover, the DLC film belongs to the polycrystalline carbon film by scanning electron microscopy, secondary ion mass spectrometry, X-ray photoelectron spectroscopy, transmission electron microscopy, electron diffraction and other means, diamond grains appear in many micro-regions.
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