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投影光刻物镜离焦工作状态分析
投影光刻物镜离焦工作状态分析
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jian_mei
【摘 要】
:
本文从投影光刻物镜的工作状态“离焦工作”出发,分析物镜焦工作对光刻的影响,提出了相应的对策。
【作 者】
:
李毅杰
【机 构】
:
电子工业部第45研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
投影光刻物镜
离焦工作
曝光机
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本文从投影光刻物镜的工作状态“离焦工作”出发,分析物镜焦工作对光刻的影响,提出了相应的对策。
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