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本文从器件物理、器件结构和工艺等三个方面介绍了深亚微米器件。包括 :短沟道效应 ;LDD和SOI结构 ;移相掩模光刻技术和多层金属布线工艺。
深亚微米MOS器件的物理,结构与工艺
【摘 要】
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本文从器件物理、器件结构和工艺等三个方面介绍了深亚微米器件。包括 :短沟道效应 ;LDD和SOI结构 ;移相掩模光刻技术和多层金属布线工艺。
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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2000年1期
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新课改实施以来,无论是语文课堂教学,还是语文命题都出现了很多亮点。去年首次在绍兴市中考语文现代文阅读中亮相的“以阅读为旨归”的“表述题”就让我们眼前为之一亮,不知能否算作“专利”,我自作聪明地称之为“疑似文学欣赏”。我们知道文学作品鉴赏是以审美活动为主导的综合活动,是读者通过注意、期待、知觉、想象、领悟、回味等,并使之互相关联、互相渗透的心理活动,目的是实现文学作品的审美价值和其他价值,它要求鉴赏
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