【摘 要】
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微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面
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微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面的显微形貌和结构,分析了双面抛光工艺过程中的化学侵蚀对微通道板表面质量的影响。依据实验结果选取合适的PH值抛光液和抛光液添加剂,可以获得高质量粗糙度表面的微通道板,同时能减少划痕等表面质量缺陷,能够有效提高微通道板生产的良品率。
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