【摘 要】
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根据光的散射理论可知,当光照射粗糙表面时会发生散射现象。本文利用氩离子激光器作为光源,将其发出的光束通过激光整形系统后变成椭圆光,然后用其照射待检盘片表面。由于盘
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根据光的散射理论可知,当光照射粗糙表面时会发生散射现象。本文利用氩离子激光器作为光源,将其发出的光束通过激光整形系统后变成椭圆光,然后用其照射待检盘片表面。由于盘片表面疵病的作用而发生散射现象,通过分析散射光和反射光便可以得到被测盘片表面的特性。文中从散射角和散射光能量两个方面,讨论了光学设计软件ZEMAX中的四种散射模型,再结合硬盘盘片表面疵病的粗糙度等级,从中选择了一种合适的模型来反映盘片表面的散射情况,然后利用光学设计软件ZEMAX设计了该检测装置的光学系统。从而可以根据对光电倍增管和光电位置传感器接收到的光能的分析,实现对盘片表面疵病大小和位置的判断。
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