声光可调谐滤波器（AOTF）作为一种关键的光学波导单元,在光通信领域中有着巨大的应用前景。利用声光可调谐滤波器可以实现滤波器、光开关、增益均衡器等多种光器件,特别是可以用于实现光学分插复用器（OADM,Optical Add/DropMultiplexer）。实际的光纤通信系统中要求AOTF器件的工作不依赖于偏振,以适应光网络中偏振状态随机变化的光信号。而模分离器是声光可调谐滤波器实现不依赖特性的主要功能部分。论文作者在攻读工程硕士学位期间,参与了导师项目组的研究工作,主要包括声光可调谐滤波器的理论设计和实验研究,本文是这段学习和工作的总结。论文的第二章介绍了声光可调谐滤波器的理论基础,其中包括LiNbO₃光波导器件属性、声光作用的原理、耦合模理论、设计工具介绍等。第三章具体介绍了如何在铌酸锂晶体上设计AOTF的各个模块,并分别给出了它们的设计参数。论文的第四章对AOTF的制作工艺进行了研究:阐述了工艺的制作流程和材料的选取,设计了掩模版的结构,通过反复的实验,得出了比较理想的光刻工艺条件。简要介绍了声光可调谐滤波器中光波导、模分离器、声波导和叉指换能器等部分的制作参数和结果,最后完成对整个AOTF的设计和制作。