近几年，光通信技术飞速发展，新一代光纤通信的发展必然强烈地依赖于半导体光电子器件方面的突破。超高速的波分复用技术已经应用到光纤通信系统中。对于WDM系统，低成本、高速率光模块扮演重要的角色。降低光模块成本，简化光纤安装对准，减少光模块集成中组成器件的数量是系统考虑的关键因素。混合集成有利于利用成熟的Si工艺技术来降低成本。侧入射探测器一个非常重要的应用是在光器件和Si基平面器件(比如：Si基平面光波回路PLC)的表面混合集成上。对用于表面混合集成的光电探测器要求能够探测平行于安装平面的光，这是因为这样的光电探测器可以方便地应用flip-chip技术安装在PLC上。 本文研究具有侧入射方式的光探测器，并在PIN的器件结构上引入谐振腔，使之具有波长选择特性，适用于波分复用通信系统。论文的主要工作如下： 1．分析研究了目前广泛存在的高性能侧入射探测器结构和性能，着重设计研究了一种新型侧入射反射镜型探测器结构，将传统的垂直腔RCE探测器引入到结构中，通过在衬底上设计特殊的V型槽结构，使整个器件具备了侧入射探测器和RCE探测器的双重特性。文中对整个器件进行了结构设计、性能分析、工艺实现研究。 2．在InP衬底上，利用各向异性腐蚀，通过选择不同的腐蚀溶液，调整