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70%以上的外界信息都是通过视觉来传达的，因此视觉为人类的进步和发展提供了重要途径。尤其是近几年，视觉假体的研究已成为国际研究热点，它为盲人的视觉功能修复提供了一条新道路。视觉假体微电极阵列作为视觉假体中的关键部件，直接与人体视觉神经组织接触，其电化学稳定性直接影响着视觉假体在体使用的安全性和有效性。碳-微机电系统（Carbon-Microelectromechanical System, C-MEMS）工艺结合传统光刻与热解工艺，能够制造出具有良好化学稳定性、生物相容性及机械性能的碳微结构。C-MEMS加工工艺与硅基MEMS工艺相兼容，因此提出可用于神经电刺激的硅基碳MEMS微电极阵列的研制。本文研究内容主要有：（1）视网膜柔性MEMS刺激微电极阵列的体外电化学稳定性评估。采用三电极测试法测试不同温度的液体环境下，刺激电极的电化学阻抗特性。结果表明，当体外测试的磷酸缓冲盐溶液的温度在人体生理性体温范围（35°C40°C）内变化时，电极电化学阻抗没有发生显著变化。（2）研究了单个电极在脉冲电流刺激下引发的pH值的变化。在正相脉冲电流刺激下，pH变化值与时间呈显著线性正相关；负相脉冲电流刺激下，pH变化值与时间呈显著线性负相关；先负后正的双相脉冲电流刺激下，pH变化值会随着刺激电流频率的升高而降低，且pH的变化值要小于单相刺激下pH的变化值。（3）基于C-MEMS技术，研制植入式硅基碳微电极阵列，刺激位点按照8×2或4×1排布。单个圆形碳刺激电极刺激位点直径为70μm，线宽为30μm，焊盘为边长300μm的正方形区域。在3英寸350μm厚的硅片上，采用C-MEMS工艺高温热解光敏型聚酰亚胺（Polyimide,PI）制作的碳材料作为刺激电极，等离子增强化学气相淀积（Plasma-enhanced-chemical-vapor deposition, PECVD）生长的二氧化硅（SiO2）作为碳电极与硅基底的绝缘材料，PI作为微电极阵列的顶层绝缘层。基于双面光刻工艺，通过硅片衬底刻蚀，实现硅基碳微电极阵列的释放。