论文部分内容阅读
微电子机械系统(MEMS)是利用集成电路(IC)加工技术和专用的微机械加工方法制造的。因此，人们想借鉴IC发展的成功经验。但MEMS又与IC有明显的不同：在IC中有标准的基本单元（如三极管），通过基本单元的组合设计可构成多种功能的IC产品，而在MEMS中则没有标准的基本单元；IC中只涉及了单一电能的能量范畴，而MEMS涉及了电、磁、热、机械等多个能量范畴。这些又决定了MEMS发展的特殊性。