4H-SiC结势垒肖特基二极管的结构研究

来源 :2013年全国博士生学术论坛——电子薄膜与集成器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meisck
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文借助于Silvaco数值分析工具,针对1200V系列平面型以及沟槽型碳化硅结势垒肖特基二极管进行了对比分析与优化设计.平面型结势垒肖特基二极管存在正向导通压降和反向漏电流的折衷与权衡,限制了功率损耗的进一步降低.优化后的沟槽型结势垒肖特基二极管打破了这一折衷点,在不牺牲正向导通压降的基础上,具有更低的反向漏电流.研究结果表明:当两种器件正向导通压降均为1.2V时,沟槽型结势垒肖特基二极管在1200V反偏电压下,漏电流密度为1.1×10-6A/cm2,与传统平面型结势垒肖特基二极管的漏电流密度(5.7×10-6A/cm2)相比,降低了67%.另外,沟槽型结势垒肖特基二极管结构比平面型结构的P区间距的设计窗口更大,降低了工艺过程中对线宽控制的要求,从而能够提高器件良率,降低生产成本.
其他文献
滑动轴承是在滑动摩擦下工作的轴承,也称平面轴承.轴被轴承支承的部分称为轴颈,与轴颈相配的零件称为轴瓦.为了改善轴瓦表面的摩擦性质而在其内表面上浇铸的减摩材料层称为轴
本文研究了长玻璃纤维增强聚烯烃复合材料及其掺混物的力学性能和亚微形态.结果表明,随着玻纤含量的增加,复合材料的拉伸、弯曲及低温冲击强度明显提高,而断裂伸长率显著降低
本篇借鉴某些火电机组的研究资料,着手对水电机组高频轴电压的现状研究,分析产生原因、损害后果和防范措施,以及葛洲坝机组运用静止励磁三十年来,高频轴电压对水轮发电机组影
本文采用双螺杆挤出机,将聚对苯二甲酸乙二醇酯-1,4-环己烷二甲醇酯(PETG)与聚碳酸酯(PC)熔融共混,制备PETG/PC共混物,研究了共混物的透明性、力学性能、微观形态结构以及流
本文利用双螺杆挤出机制备添加不同抗氧剂、钛白粉及其他助剂的耐高温尼龙(PPA)试样,考察了试样在经过热氧老化后黄色指数(YI)、蓝光白度(R457)的变化情况;研究了微量群青对P
韩国Nano Chemical Inc.最新开发的高性能高温陶瓷过滤器CATCERA,基于纳米级TiO2(金红石)脱硝催化剂,该系列产品具有优异的性价比,各项指标优于同类产品,广泛应用于火电厂、水泥
采用变调制恒差额方法的线性调频准连续波(LFMICW)雷达高度计,需要实时的根据差拍信号的频率来改变发射信号的波形.差拍信号的计算需要快速快速傅立叶变换,运算量大.同时为了
本文提出了一种基于分离路径技术的同步整流电路.该电路通过一种路径分离电路,产生非交叠时钟信号,用来控制开关功率管和同步整流功率管.通过仿真工具验证,使用该结构的同步
本文利用最佳量化器理论,推导出单频正交信号幅度最佳量化的近似迭代表达式,并将其与相位量化的方法和效果进行了对比,分析比较表明,采用幅度量化的方式结构简单,适合精度有
本文展示了一种对电源电压和温度不敏感的用于射频识别电子标签的时钟发生器.该时钟发生器使用0.18μm标准CMOS工艺进行了仿真并流片.仿真结果表明,该时钟发生器在电源电压变