论文部分内容阅读
应用多色式光学监控方法镀膜
【机 构】
：
国营南京电子管厂激光技术研究所
【出 处】
：
第五届全国光学薄膜学术交流会
【发表日期】
：
1988年期
其他文献
该文主要论述大束流负氧离子辅助电子束蒸发TiO[*V2*]膜层的实验情况。其中包括负氧离子源的构造和基本原理。比较了中性氧和氧离子在不同基片温度和不同蒸发速率条件下蒸镀5