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真空镀膜反转机构及五棱镜夹具简介
【出 处】
:
1986年光学工艺学术交流会
【发表日期】
:
1986年期
其他文献
该文主要论述大束流负氧离子辅助电子束蒸发TiO[*V2*]膜层的实验情况。其中包括负氧离子源的构造和基本原理。比较了中性氧和氧离子在不同基片温度和不同蒸发速率条件下蒸镀5