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本文通过往传统化学镀铜液和超级化学镀铜液中添加有机添加剂三乙醇胺,研究了不同的镀液温度、三乙醇胺浓度对其沉积速率的影响.实验结果表明,三乙醇胺的添加能大大提高传统化学镀铜溶液和超级化学镀铜液的沉积速率,降低反应的活化能.X射线衍射和原子力显微镜测定结果表明三乙醇胺的添加,不仅提高了化学镀铜膜晶面的结晶趋向,而且降低了铜膜的表面粗化度.