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本文介绍了具有弧流自动调节电路的弧流自动调节系统,并就其在引束过程中可以方便地设定弧流并获得稳定弧流作一阐述.
热阴极离子源弧流自动调节电路
【摘 要】
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本文介绍了具有弧流自动调节电路的弧流自动调节系统,并就其在引束过程中可以方便地设定弧流并获得稳定弧流作一阐述.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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