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微机械加工工艺是制作微型三维结构的新技术，在硅传感器的研制中，用该工艺腐蚀敏感膜片。作者对微机械加工工艺的多种腐蚀液进行了研究，如ＥＰＷ，ＫＯＨ，ＴＭＡＨ等。腐蚀出含有矩形、多边形双硬心结构的复合硅杯结构，最薄膜厚可小于１０微米，灵敏度可达１００ｍＶ／１０ＫＰａ．１ｍＡ，该文介绍了主要工艺实验及结果。