微机械加工工艺相关论文
MEMS热对流加速度传感器是一种通过密闭空腔内流体的自然对流传热来对外界加速度信号进行检测的微纳器件,相比于其他种类的加速度......
对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述,对各种结构形式和研究现状进行了综合比较.从微热电器件......
本文利用通电平面螺旋线圈产生磁场特点,采用镜像绕制以及并联连接双线圈的方法,研制了一种快速低功耗MEMS微型双稳态继电器结构,......
一提到加速度计传感器，人们会习惯性地想到高昂的价格及其传统的应用领域一高档汽车。的确，以往的加速度计传感器由于其特定的工作原......
本文介绍了一种利用ZnO压电薄膜为换能器的硅微压电薄膜传声器的制备,并且对微机械加工工艺过程进行了较为详细的描述.本文对传声......
为了简化电容式振动环陀螺仪的制作方法，进一步提高成品率，提出了一种结合反应离子深刻蚀（DRIE）与阳极键合的陀螺仪制备方法。分析了振......
<正> 一、引言 硅传感器已有三十多年历史。开始用于p—n结测光并根据p—n结温敏特性制作了简单的温度传感器。六十年代,人们在硅......
光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中不可缺少的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有......
随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信......
