真空退火温度相关论文
我们研究了厚度、基片温度、真空退火温度对磁控射频溅射制备的NiFe薄膜各向异性磁电阻(AMR)的影响.当膜厚小于100nm时,膜厚对AMR......
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采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术制备AlCrSiN/Mo自润滑涂层,通过真空退火处理改善其结构和性能。利用扫描......
真空退火炉中温度的精确控制是一个多变量控制问题。为实现退火温度的精确控制,以真空退火炉现场实际采集的数据为基础,辨识出真空......
