【摘 要】
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SOI材料因其独特的结构以及一系列优良性能,已愈来愈引起人们的高度重视,近年来,这一技术发展迅速,并被认为是二十一世纪最重要的硅集成电路技术.本文简要地介绍了SOI材料的主要性能特点、应用前景,以及当前国内外SOI材料制备的几种主要方法.文章还指出Smart-cut SOI技术集SIMOX技术和BESOI技术的优点于一体,是当前较为理想的一种SOI制备技术.本文最后还提出了当前SOI材料需要进一步
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
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SOI材料因其独特的结构以及一系列优良性能,已愈来愈引起人们的高度重视,近年来,这一技术发展迅速,并被认为是二十一世纪最重要的硅集成电路技术.本文简要地介绍了SOI材料的主要性能特点、应用前景,以及当前国内外SOI材料制备的几种主要方法.文章还指出Smart-cut SOI技术集SIMOX技术和BESOI技术的优点于一体,是当前较为理想的一种SOI制备技术.本文最后还提出了当前SOI材料需要进一步解决的一些技术问题.
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